Die Eigenschaften von SilCor® CrN

Chemische Zusammensetzung
Unterschicht: Chrom
Hauptschicht: Cr, N (optimiertes Verhältnis), O
Herstellungsverfahren
Physikalische Dampfabscheidung (PVD), Katodenzerstäubung (Sputtering)
Depositionstemperatur: T= 200 oC
Mechanische Eigenschaften
Dicke: 1 - 10 µm, typisch 3 µm (Gesamtschicht)
Oberflächenrauheit: ca. 0,07 µm
Universalhärte: UH = 24 GPa
Vickershärte: HV0.01 = 1900
Elastizitätsmodul: E = 250 GPa
Elastische Deformation: WE/P = 55 %
Eigenspannung: s = - 0,5 GPa
Reibungskoeffizient (Stahl trocken): µ = 0,56
Dichte: rho = 6,1 g/cm3
Physikalisch-chemische Eigenschaften
spezifischer elektrischer Widerstand: 10-2Ωcm
Morphologie: Nanokristallin, Korngrößen ca. 20 nm
Temperaturbeständigkeit: bis 700 oC
Chemische Resistenz: Resistent gegen Säuren, Laugen, Salze und oxidierende Medien
Entschichtung: naßchemische Lösungen
Härtemessung mit Nanoindenter:
Ein Vickersdiamant wird mit einer definiert steigenden Last beaufschlagt und die entstehende Eindringtiefe gemessen (grüne Kurve). Nach Reduzierung der Kraft auf Null verbleibt wegen des elastischen Anteils der Deformation ein Eindruck, der deutlich geringer ist als die maximale Eindringtiefe (rote Kurve). Aus der Messkurve lassen sich makroskopische Materialparameter berechnen, die für die Einzelmessung beispielhaft mitgeschrieben sind.
CrN Microhardness
Erläuterungen: Die angegebenen Werte beziehen sich auf Messungen an ausgewählten, typischen Probekörpern. Wegen der im Plasma bekannten Geometrieeffekte können die gemessenen Eigenschaften insbesondere in Abhängigkeit von der Größe der Substrate variieren. Zur genauen Bestimmung der Schichteigenschaften am spezifischen Beschichtungsgut soll unbedingt eine Bemusterung im Kundenauftrag erfolgen.